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微觀二維形貌輪廓臺階儀工作時，觸針沿被測表面輕輕滑過，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。

NS系列探針式膜層厚度表面粗糙度臺階儀可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。樣品適應(yīng)面廣，對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

中圖儀器NS系列臺階厚度儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

中圖儀器NS系列薄膜厚度臺階測量儀集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。它主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

NS系列接觸式臺階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀輪廓，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

NS系列接觸式表面形貌臺階測量儀用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)，是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。