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SJ6000運動導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000工業(yè)精密激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000激光干涉儀精密測量及校準(zhǔn)系統(tǒng)可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉機床校準(zhǔn)補償儀是一種高精度測量設(shè)備，采用邁克爾遜干涉原理進行線性測量，可以測量機床的線性定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補償模塊，能夠自動補償激光波長和材料特性，從而確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

SJ6000導(dǎo)軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000線性位移精度激光干涉測量儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標(biāo)、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。