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SuperViewW3大尺寸白光干涉三維形貌儀具備各種類(lèi)型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能，其中表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別。是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。

SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。

SuperViewW1微米級(jí)白光干涉儀可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器國(guó)內(nèi)白光干涉儀的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。測(cè)件尺寸可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸。

SuperViewW1白光干涉儀器專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量，具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。

?中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀應(yīng)用用途多樣、設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，能夠測(cè)量不同的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和波度，涵蓋所有類(lèi)型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測(cè)量應(yīng)用。